[发明专利]彩色共焦区域传感器有效
| 申请号： | 201980048978.6 | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN112469961B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | C·沃特斯;K·约里斯;J·德格里夫 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/00;G01B11/06;G01B11/16;G02B7/02;G02B27/00;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 确定工件上特征的3D测量，例如球高、共面性、组件厚度或翘曲。系统包含宽带光源、微透镜阵列、可调谐彩色滤光器、透镜系统及检测器。所述微透镜阵列可将光束聚焦到所述微透镜阵列的焦平面中的点。所述可调谐彩色滤光器可使所述光束收窄到中心波长处的频带。所述透镜系统可提供纵向色差以借此使不同波长成像在距所述透镜系统的不同距离处。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 区域 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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