[发明专利]量测方法、设备和计算机程序在审
| 申请号： | 201980042725.8 | 申请日： | 2019-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN112352202A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳;M·哈伊赫曼达 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种确定衬底上的目标的特性的方法和用于确定衬底上的目标的特性的相关联的量测设备。所述方法包括：获得多个强度不对称性测量结果，每个强度不对称性测量结果与形成于所述衬底上的目标有关；和根据所述多个强度不对称性测量结果，确定与每个目标对应的敏感度系数。使用这些敏感度系数，确定所述多个目标的代表性敏感度系数或确定所述多个目标中的多于一个目标的子集的代表性敏感度系数。然后，使用所述代表性敏感度系数，确定所述目标的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 设备 计算机 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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