[发明专利]气体检测装置和气体检测方法在审
| 申请号： | 201980041505.3 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN112352152A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 佐井正和;井泽邦之;河口智博 | 申请（专利权）人： | 费加罗技研株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 高迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器的MEMS气体传感器。通过由驱动电路以规定的周期且以规定的脉冲宽度使加热器动作，将金属氧化物半导体加热。如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度，则驱动电路使加热器的动作停止或将周期延长。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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