[发明专利]用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件在审
| 申请号： | 201980033152.2 | 申请日： | 2019-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN112136038A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | R·米勒;T·S·弗赖 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/18 | 分类号： | G01N27/18;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于制造至少一个用于量热探测气体的微机械的传感器的膜片装置的方法，其中：提供晶片状的衬底；将至少一个参考容积在形成至少局部覆盖参考容积的参考膜片的情况下通过表面或容积微机械工艺由前侧引入晶片状的衬底中；将至少一个与至少一个参考容积相邻的测量容积由晶片状的衬底的背侧或前侧在形成测量膜片的情况下引入衬底中；将晶片状的盖衬底施加到晶片状的衬底的前侧上。此外还公开一种膜片装置和构件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 至少 一个 膜片 装置 方法 微机 传感器 构件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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