[发明专利]激光装置和使用了该激光装置的激光加工装置在审
申请号: | 201980032057.0 | 申请日: | 2019-05-10 |
公开(公告)号: | CN112352358A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 石川谅;堂本真也;山口秀明 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | H01S3/00 | 分类号: | H01S3/00;B23K26/00;B23K26/035 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王亚爱 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 激光装置(10)包括发出激光的激光振荡器(20)和接收激光并向外部出射的光学单元(16)。光学单元(16)具有部分透射反射镜(MD)、扩散板(DP)以及光电二极管(PD)。该部分透射反射镜(MD)一方面将激光的一部分向外部反射,另一方面使激光的剩余部分透过;该扩散板(DP)使透过了部分透射反射镜(MD)的激光以规定的扩散角扩散,同时向规定方向偏振;该光电二极管(PD)接收在扩散板(DP)发生了偏振的激光,输出电信号。激光装置(10)构成为基于光电二极管(PD)的输出信号监测激光的光轴偏移。 | ||
搜索关键词: | 激光 装置 使用 加工 | ||
【主权项】:
暂无信息
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