[发明专利]基于阵列的表征工具有效
| 申请号： | 201980029659.0 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN112136070B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | A·利普金德;A·罗森塔尔;F·基莱塞;J·格尔林;L·穆劳伊;R·海恩斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种扫描电子显微术SEM系统包含多个电子束源，所述多个电子束源经配置以产生初级电子束。所述SEM系统包含具有多个电子光学柱的电子光学柱阵列。电子光学柱包含多个电子光学元件。所述多个电子光学元件包含偏转器层，所述偏转器层经配置以经由由所述多个电子光学柱中的至少一些电子光学柱共享的共同控制器驱动；且包含修整偏转器层，所述修整偏转器层经配置以由个别控制器驱动。所述多个电子光学元件经布置以形成电子束通道，所述电子束通道经配置以将所述初级电子束引导到固定于载台上的样本，所述样本响应于所述初级电子束而发射电子束。所述电子光学柱包含电子检测器。所述电子束通道经配置以将所述电子束引导到所述电子检测器。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 阵列 表征 工具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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