[发明专利]使用固态发射器阵列的系统和方法有效
| 申请号： | 201980028358.6 | 申请日： | 2019-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN112041751B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多弗·丹尼斯·本彻;约瑟夫·R·约翰逊 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/76 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容的实施方式提供了使用固态发射器装置的改进的光刻系统和方法。所述固态发射器装置包括被布置成多个水平行和竖直列的固态发射器阵列。每组固态发射器的可变强度，例如整行固态发射器或整列固态发射器的可变强度，是可控制的，以改进场亮度均匀性和场拼接。控制所述可变强度包括例如改变施加到成行固态发射器中的每行的信号，诸如电压，以使亮度从所述阵列的中间到所述阵列的边缘衰减来适应在光刻处理期间的重叠曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 固态 发射器 阵列 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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