[发明专利]气体传感器元件的制造方法有效
申请号: | 201980024977.8 | 申请日: | 2019-04-11 |
公开(公告)号: | CN111936847B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 儿玉和俊 | 申请(专利权)人: | 株式会社电装 |
主分类号: | G01N27/41 | 分类号: | G01N27/41 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;王秀辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供气体传感器元件的制造方法,能够基于根据特定离子的浓度差在第一电极(13)与第二电极(14)之间流动的电流亦即极限电流来检测特定离子的浓度的气体传感器元件(10)的制造方法具备:升温工序(S102)、电流测定工序(S103、S107、S109、S111)、以及调整工序(S106、S108、S110)。在升温工序中,对加热器(15)通电,使固体电解质层(12)升温。在电流测定工序中,对第一电极(13)以及第二电极(14)施加电压,测定极限电流。在调整工序中,通过使用超短脉冲激光除去扩散阻抗层来调整导入路径的距离亦即扩散距离,以使极限电流成为最终标准范围内。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社电装,未经株式会社电装许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980024977.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种喷气散热的半导体检测用探针座
- 下一篇:仅沿一个旋转方向被驱动的风扇轮