[发明专利]气体传感器元件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201980024977.8 申请日: 2019-04-11
公开(公告)号: CN111936847B 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 儿玉和俊 申请(专利权)人: 株式会社电装
主分类号: G01N27/41 分类号: G01N27/41
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 舒艳君;王秀辉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供气体传感器元件的制造方法,能够基于根据特定离子的浓度差在第一电极(13)与第二电极(14)之间流动的电流亦即极限电流来检测特定离子的浓度的气体传感器元件(10)的制造方法具备:升温工序(S102)、电流测定工序(S103、S107、S109、S111)、以及调整工序(S106、S108、S110)。在升温工序中,对加热器(15)通电,使固体电解质层(12)升温。在电流测定工序中,对第一电极(13)以及第二电极(14)施加电压,测定极限电流。在调整工序中,通过使用超短脉冲激光除去扩散阻抗层来调整导入路径的距离亦即扩散距离,以使极限电流成为最终标准范围内。
搜索关键词: 气体 传感器 元件 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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