[发明专利]图案的制造方法、光学滤波器的制造方法、固体摄像元件的制造方法、图像显示装置的制造方法、光固化性组合物及膜在审
申请号: | 201980021987.6 | 申请日: | 2019-03-22 |
公开(公告)号: | CN111902775A | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 大河原昂广;长田崇一郎;奈良裕树;中村翔一 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/20;H01L27/146 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种图案形成性优异并且抑制了在图案之间产生残渣的图案的制造方法、光学滤波器的制造方法、固体摄像元件的制造方法及图像显示装置的制造方法。并且,提供一种光固化性组合物及膜。图案的制造方法包括:使用含有色材和树脂,且固体成分的酸值为1~25mgKOH/g的光固化性组合物在支承体上形成光固化性组合物层的工序;将光固化性组合物层曝光成图案状的工序;及使用含有有机溶剂的显影液对未曝光部的光固化性组合物层进行处理而显影的工序。 | ||
搜索关键词: | 图案 制造 方法 光学 滤波器 固体 摄像 元件 图像 显示装置 光固化 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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