[发明专利]非轻敲模式的散射式扫描近场光学显微镜系统及方法在审

专利信息
申请号: 201980020933.8 申请日: 2019-01-22
公开(公告)号: CN111886505A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 王浩民;徐晓纪 申请(专利权)人: 理海大学
主分类号: G01Q70/00 分类号: G01Q70/00;G01Q70/08;G01Q60/24
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 王红艳
地址: 美国宾夕*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 用于实现峰值力散射扫描近场光学显微镜(PF‑SNOM)的系统、装置和方法。传统的散射式显微镜(s‑SNOM)技术使用轻敲模式操作和锁定检测,无法提供具有明确针尖‑样品距离的直接层析成像信息。PF‑SNOM使用峰值力散射式扫描近场光学显微镜,并结合峰值力轻敲模式和时间选通光检测,可以从样品表面直接分离垂直近场信号来进行三维近场成像和光谱分析。PF‑SNOM还提供5nm的空间分辨率,并且可以同时测量机械和电气特性以及光学近场信号。
搜索关键词: 非轻敲 模式 散射 扫描 近场 光学 显微镜 系统 方法
【主权项】:
暂无信息
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