[发明专利]用于在激光加工系统中确定焦点位置的装置、激光加工系统和相应的方法有效
| 申请号： | 201980017812.8 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111989552B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | D·布拉斯克斯桑切斯 | 申请（专利权）人： | 普雷茨特两合公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/04;B23K26/03 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 韩长永 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开文件涉及一种用于在激光加工系统(100)中确定激光束(10)的焦点位置(F)的装置(200)。该装置(200)包括第一光学元件(210)，所述第一光学元件设置用于反射激光束(10)的一部分以耦合输出激光束(10)的第一子光束(12)；第二光学元件(220)，所述第二光学元件设置用于反射激光束(10)的另外的部分以耦合输出激光束(10)的与第一子光束(12)基本上同轴的第二子光束(14)；空间分辨传感器(230)，第一子光束(12)和第二子光束(14)能够偏转到所述空间分辨传感器上；和评估单元(240)，所述评估单元设置用于基于射到空间分辨传感器(230)上的第一和第二子光束(12，14)来确定激光束(10)的焦点位置(F)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 加工 系统 确定 焦点 位置 装置 相应 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普雷茨特两合公司，未经普雷茨特两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980017812.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：照明装置
- 下一篇：蚀刻方法及基板处理装置
