[发明专利]叠加及边缘放置错误的计量及控制有效
| 申请号： | 201980016789.0 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111801625B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | A·V·舒杰葛洛夫;F·拉斯克;N·古特曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种叠加计量系统，其可包含：控制器，其通过测量基于光学可分辨特征的光学叠加测量与基于装置级特征的装置级叠加测量之间的差来产生对包含所述光学可分辨特征及所述装置级特征的混合叠加目标的光学工具错误调整；基于特征在装置区域内的位置来产生对所述混合叠加目标的目标到装置调整；基于所述光学叠加测量、所述光学工具错误调整或所述目标到装置调整中的至少一者来确定所述装置区域中的一或多个位置的装置相关叠加测量；及将所述装置区域的叠加可校正值提供到光刻工具，以基于所述装置相关叠加测量来修改至少一个后续曝光的曝光条件。 | ||
| 搜索关键词： | 叠加 边缘 放置 错误 计量 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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