[发明专利]基于参数的概率密度函数的控制有效
| 申请号： | 201980014794.8 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111742266B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | W·T·特尔;M·J·基亚;R·阿努西亚多 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中描述了一种用于确定对图案化工艺的调节的方法。该方法包括：基于与经受图案化工艺的衬底的特征有关的参数的测量，获取参数的概率密度函数；由硬件计算机系统，确定概率密度函数的不对称性；以及由硬件计算机系统，基于参数的概率密度函数的不对称性，确定对图案化工艺的调节，以降低特征的参数值落在参数的阈值之间的范围之外的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 参数 概率 密度 函数 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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