[发明专利]自动对焦装置和具备其的光学装置以及显微镜有效

专利信息
申请号: 201980013041.5 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN111819485B 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 安井真人;广岛通夫;上田昌宏 申请(专利权)人: 国立研究开发法人理化学研究所
主分类号: G02B7/28 分类号: G02B7/28;G02B7/32;G02B21/26;G03B13/36;H04N5/225;H04N5/232
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 伍志健;林明校
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 自动对焦装置,包括:支撑载置试样(20)的玻璃部件(19)的载物台(ST);观察试样(20)的放大光学系统(L2、HM、DM、OL);经过放大光学系统对试样(20)发射光的光源装置(11、M、13);配置在和放大光学系统的试样(20)相反的位置,限制从光源装置发射的发射光的光圈(IR);经由放大光学系统接收反射光的AF用相机(22),该反射光为经由光圈(IR)以及放大光学系统到达玻璃部件(19)的发射光在反射面(S)所反射的反射光。光源装置相对于放大光学系统的轴以非零的角度(φ)发射光。控制装置(100)调整载物台(ST)的位置,以使被拍摄的遮蔽物的像的位置和目标位置一致。通过设置这种结构,能够实现高速的自动对焦。
搜索关键词: 自动 对焦 装置 具备 光学 以及 显微镜
【主权项】:
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