[发明专利]悬臂接触探针及相应的探针头在审
| 申请号： | 201980008644.6 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111602063A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 里卡尔多·维托里 | 申请（专利权）人： | 泰克诺探头公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;张函 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种悬臂接触探针(31)，包括包含在下倾的探针部(31b)和上倾的探针部(31c)之间的探针体(40)，当接触探针被安装在悬臂探针头(30)上时，该下倾的探针部(31b)沿着预先设定的纵向轴线(HH)延伸，该纵向轴线相对于参考平面(π)倾斜，该参考平面对应于被测器件(35)的晶圆的平面，该悬臂接触探针(31)还包括：形成在下倾的探针部(31b)中的至少一个端部(31a)，其相对于起始于弯曲点(PG1)并终止于适于抵靠在晶圆的被测器件(35)的接触垫(35A)上的悬臂接触探针(31)的接触尖端(36A)的纵向轴线(HH)弯曲，合适地，该探针体(40)被合适地构造成形并且包括至少一个基部(40a)，其设置有上部(40d)，该上部从基部(40a)开始，沿成形体(40)的纵向延伸轴线(AA)延伸，纵向延伸轴线(AA)正交于参考平面(π)和顶部(40e)，该顶部连接至上部(40d)并具有比上部(40d)的直径(D1)更大的直径(D2)，这些上部和顶部(40d，40e)基本上构造成T形，上部(40d)是T形的竖杆，而顶部(40e)是T形的横档。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂 接触 探针 相应 | ||
【主权项】：
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