[发明专利]制造石墨烯层结构的方法有效

专利信息
申请号: 201980008029.5 申请日: 2019-01-10
公开(公告)号: CN111566046B 公开(公告)日: 2023-09-05
发明(设计)人: 西蒙·托马斯;伊沃尔·吉尼 申请(专利权)人: 帕拉格拉夫有限公司
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186;C01B32/184
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 蔡胜有;苏虹
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供了用于生产石墨烯层结构的方法,所述方法包括:将基底设置在反应室中的经加热的衬托器上,所述室具有复数个经冷却的入口,所述复数个经冷却的入口被布置成使得在使用时所述入口跨越所述基底分布并且与所述基底具有恒定的间距;使所述经加热的衬托器以至少300rpm的转速旋转;供应包含前体化合物的流通过所述入口并进入所述反应室中从而使所述前体化合物分解并在所述基底上形成石墨烯,其中所述入口被冷却至低于100℃,优选地被冷却至50℃至60℃,以及所述衬托器被加热至超过所述前体的分解温度至少50℃的温度,其中所述恒定的间距为至少12cm,并且优选为12cm至20cm。
搜索关键词: 制造 石墨 结构 方法
【主权项】:
暂无信息
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