[发明专利]用于气体分析的系统、方法和计算机程序产品有效
申请号: | 201980004546.5 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN111094968B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 山中一司;竹田宣生;赤尾慎吾;辻俊宏;大泉透;福士秀幸;冈野达広;佐藤渚;塚原祐辅 | 申请(专利权)人: | 球波株式会社 |
主分类号: | G01N29/02 | 分类号: | G01N29/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 王红艳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 表面声波的准直光束(23)在穿过敏感膜(25)以吸收感测气体的同时在压电基板(22)上传播。信号处理单元(40)向传感器电极(24)发送激发突发信号以激发准直光束(23),在准直光束(23)传播之后接收第一返回突发信号和第二返回突发信号,并通过背景气体的目标泄漏因数以及参考气体参数与参考气体的参考泄漏因数之间的关系计算目标气体参数,该泄漏因数分别使用第一返回突发信号和第二返回突发信号的波形数据由第一返回突发信号的第一衰减和第二返回突发信号的第二衰减提供。 | ||
搜索关键词: | 用于 气体 分析 系统 方法 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】:
暂无信息
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