[外观设计]带图形用户界面的光刻机

摘要

1.本外观设计产品的名称：带图形用户界面的光刻机。;2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于光刻机交互控制。;3.本外观设计产品的设计要点：在于屏幕中的图形用户界面内容。;4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。;5.无设计要点，省略后视图;无设计要点，省略俯视图;无设计要点，省略仰视图;无设计要点，省略左视图;无设计要点，省略右视图。;6.图形用户界面的用途：用于光刻机交互控制。;7.图形用户界面在产品中的区域：光刻机的主视图包括光刻机交互控制的框架界面；主视图局部放大图表示了光刻机交互控制的框架界面区域的局部放大；界面变化状态图1为光刻机交互控制的框架界面，不论按钮点击与否，该框架界面在使用中保持出现，框架界面包括：“Production”、“Recipes”、“System”、“Data”、“Alarms”、“Setup”、“Tools”、“Manuals”以及左上角的登录按钮。;8.图形用户界面的人机交互方式：通过按钮点击。;9.图形用户界面的变化状态说明：点击左上角的登录按钮出现Log in/Log out、Close、Restart按钮，如界面变化状态图2所示；在框架界面上点击“Production”按钮，进入界面变化状态图3；在界面变化状态图3下，若光刻机产生警告信息，则浮出在线弹窗警告，如界面变化状态图4所示；界面变化状态图3包括“Monitor”、“Lot Information”以及“Material Handler”按钮，在框架界面上点击“Production”按钮后，“Monitor”默认按下，界面变化状态图8为界面变化状态图3的另一示例；在界面变化状态图3和界面变化状态图8所示的状态下，点击“Material Handler”按钮，进入界面变化状态图9；在框架界面上点击“System”按钮，进入界面变化状态图5，界面变化状态图5包括“Initialization”按钮，在界面变化状态图5下，点击“Initialization”按钮，待初始化完成后，进入界面变化状态图6；在框架界面上点击“Alarms”，进入界面变化状态图7。