[实用新型]一种融熔渗硅用真空感应炉有效
| 申请号： | 201922498084.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211346314U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 杜东伟;赵美玲;纪东森 | 申请（专利权）人： | 德翼高科（杭州）科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/04 | 分类号： | F27B14/04;F27B14/08 |
| 代理公司： | 杭州凌通知识产权代理有限公司 33316 | 代理人： | 叶绿林 |
| 地址： | 311600 浙江省杭州市建德*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种融熔渗硅用真空感应炉，包括炉体，设置在炉体内的发热腔体，所述发热腔体的顶部设置有排气孔，排气孔连接设置有排气管道，所述发热腔体的底部设置有承料板；所述发热腔体的底部设置有底部排气管，底部排气管连接设置有下抽气管，下抽气管的末端连接设置有真空泵；所述发热腔体内还设置有集气罩，所述集气罩内叠加设置有用于盛放产品的坩埚。本实用新型能够避免硅蒸汽侵蚀真空感应炉，从而提高真空感应炉的使用寿命，可广泛应用于碳化硅的生产加工领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 融熔渗硅用 真空 感应炉 | ||
【主权项】：
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