[实用新型]气体激光器用气体纯化装置

摘要

本实用新型公开了一种气体激光器用气体纯化装置，包括玻璃钛泵和玻璃弹簧；所述玻璃钛泵包括玻璃基壳，在所述玻璃基壳内设置有螺旋状的钛丝，所述钛丝的两端固定连接有镍带，所述镍带上分别焊接有钨杆电极，两端的钨杆电极从所述玻璃基壳内伸出通过导线与高压电源进行电性连接；所述玻璃弹簧的一端与玻璃钛泵相连通，另一端与谐振腔相连接，所述谐振腔与整谐振腔专用电源电性连接。本实用新型采用小型的玻璃钛泵做为真空泵源，在玻璃钛泵的输出管道连接有玻璃弹簧，通过施加高压电的方式实现玻璃弹簧辉光放电和钛蒸发，可以有效抽除谐振腔和玻璃弹簧释放出的杂气，避免谐振腔内部污染。