[实用新型]一种用于EUV平版印刷的投影系统

摘要

本实用新型提供了一种用于EUV平版印刷的投影系统，属于显微光刻物镜技术领域，该投影系统包括透镜，所述透镜包括第一镜、第二镜、第三镜、第四镜、第五镜、第六镜以及孔径光阑，所述第一镜到第六镜均通过固定装置连接有镜面固定架，所述镜面固定架固定连接有一伸缩杆，所述伸缩杆上标有刻度线，所述刻度线用于高度定位，所述伸缩杆固定套接有一支撑杆，所述支撑杆上固定设有加紧旋钮，所述支撑杆固定连接有固定板，所述固定板滑动设置在一平台上。在本实用新型中，透镜的高度可以通过伸缩杆进行调节，伸缩杆上还设有刻度线，方便高度定位，透镜通过固定装置双重固定，机械稳定性较高。