[实用新型]一种大功率中空等离子体源装置有效
| 申请号： | 201922466883.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211267223U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 陈波 | 申请（专利权）人： | 上海宏澎能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种大功率中空等离子体源装置，具有阳极棒、阴极棒、绝缘安装板、阳极接线桩、阴极安装板、阴极接线桩、绝缘套，阴极棒、阴极安装板各具有相同的多只，阴极棒安装在阴极安装板的内侧下端，阴极接线桩安装在其中一只阴极安装板上端，剩余的全部阴极安装板以及阴极棒分别安装在绝缘安装板下端，阳极棒上端安装在绝缘套上部内侧端，阳极接线桩下端和阳极棒通过导线连接，绝缘套下部和绝缘安装板连接在一起，绝缘套上部和阳极接线桩连接在一起，阴极接线桩和多只阴极棒经导线连接，高电压发生机构电源输出两端分别阳极接线桩、阴极接线桩经导线连接。本新型适用于多种气体源使用，能产生较高热负荷，等离子束流密度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 中空 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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