[实用新型]一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置有效
申请号: | 201922466720.8 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211015011U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 冀然 | 申请(专利权)人: | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266109 山东省青岛市城阳区长城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提出一种适用于多种尺寸基片的圆心定位装置,包括:工作台,工作台上表面设有导轨,与导轨滑动连接有导杆,导杆一端垂直连接有定位杆,定位杆上连接有把手,导杆另一端连接有用于定位基片的V字型的定位板,工作台上设有与导杆平行的限位板,限位板与工作台滑动连接可平行的向导杆移动,限位板靠近导杆一端垂直连接有多个限位柱,在限位板上自靠近定位板一端的限位柱向靠近把手一端的限位柱的长度尺寸逐渐递减。本实用新型可应用于多种尺寸的圆形基片的圆心定位,不仅能够提高定位精度,且能够保证胶层厚度的一致性和均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 多种 尺寸 圆心 定位 装置 | ||
【主权项】:
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