[实用新型]一种晶圆动态测试治具有效
| 申请号： | 201922445385.3 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211589854U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 郑东来;缪小波 | 申请（专利权）人： | 江苏嘉兆电子有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;G01R1/04;B25H1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆动态测试治具，包括测试台、吸盘座、移动槽、导块、定位柱、气缸、推板、斜板、复位弹簧、活塞头、推杆、活塞筒和连块，所述测试台顶面等距安装有吸盘座，且吸盘座底口连接固定有活塞筒，所述测试台内部位于吸盘座对应位置安装有气缸，且气缸输出端固定有推杆，所述活塞筒内配合设有活塞头，且推杆与活塞头固定连接，所述测试台表面位于吸盘座侧边对称开设有四个移动槽，且移动槽内滑动卡接有导块，此晶圆动态测试治具通过气缸的驱动，配合斜面推动使定位柱推动晶圆聚中，实现精准放置，配合活塞头的收缩使吸盘座对晶圆稳定吸附固定，装置结构简单，晶圆定位精确稳定，提高晶圆检测的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 测试 | ||
【主权项】：
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