[实用新型]一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置有效
| 申请号： | 201922351086.3 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211297108U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 刘向伟;刘善石 | 申请（专利权）人： | 昆山索坤莱机电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，外部电极馈入采用4点馈入方式，可以达到更好的电量传输效果，减少传输中的电量损耗，提高了处理效果。内部电极连接处采用上下双铍铜弹片和锥形插片结构，可以达到最佳的电极链接的接触面积，减少了电量传输中的损耗，使得每片电极板的电量更均匀，从而使得每层处理区的等离子含量更均匀，达到更好的处理效果和更加的处理均匀性，电极板采用不锈钢滚轮结构设计，在箱体两侧留有滚轮固定位及固定槽，极板上的不锈钢固定件与滚轮，更好的解决了因摩擦产生的粉尘，提高了产品的处理良率，节省了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空 等离子 处理 箱体 电极 连接 装置 | ||
【主权项】：
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