[实用新型]一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置有效
申请号: | 201922323070.1 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN211118728U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 薛亮;郑江 | 申请(专利权)人: | 常熟制药机械厂有限公司 |
主分类号: | F17C3/00 | 分类号: | F17C3/00;F17C13/04;F17C13/00 |
代理公司: | 苏州市小巨人知识产权代理事务所(普通合伙) 32415 | 代理人: | 凌立 |
地址: | 215500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置,至少包括气体连通且呈并行排列的初级MO源钢瓶和终级MO源钢瓶;初级MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的初级钢瓶本体,初级钢瓶本体上端分别设有惰性气体进气管和MO源充装口,同时其底部设有初级MO源出气管,终级MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的终级钢瓶本体,终级钢瓶本体底部设有MO源进气管,同时其上端分别设有终极MO源出气管和MO源充装口;终级钢瓶本体的MO源封装空间小于初级钢瓶本体的MO源封装空间,且初级MO源出气管通过与其垂直的连接管道与MO源进气管连接;本实用新型通过简单且紧凑的多联钢瓶结构设计,可以同时实现优异MO源供给饱和度和均匀度效果,最终实现更高的MO源供给效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 安装 结构 紧凑 mo 供给 装置 | ||
【主权项】:
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