[实用新型]单晶炉冷却循环系统余热利用装置有效
申请号: | 201922295630.7 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN211620668U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 宋生宏;高玉顺;韩永龙;何旭;杨延生 | 申请(专利权)人: | 阳光能源(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;F27D17/00 |
代理公司: | 青海省专利服务中心 63100 | 代理人: | 李玉青 |
地址: | 810000 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型公开了单晶炉冷却循环系统余热利用装置,包括单晶炉、第一循环水冷却系统、第二循环水冷却系统,所述第一循环水冷却系统包括第一板式换热器,所述单晶炉侧壁连接有单晶炉出水管道。本实用新型将单晶炉出水管道通过第二进水管与第一板式换热器上端连接,可以对热源机组和空调系统的进水进行加热,从而启动热源机组带动整个工业生产区域和办公宿舍区域的供暖,使得对单晶炉出水管道中热水上热量的利用,节省资源,通过单晶炉出水管道通过第一进水管与第二板式换热器上端连接,可以对自来水加热,从而取缔了漂洗时加热用的热水器,降低清洗硅片的能耗,并且也可以对超声波清洗机所用冷水进行加热,效果明显且节约能耗。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 冷却 循环系统 余热 利用 装置 | ||
【主权项】:
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