[实用新型]一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置有效
| 申请号： | 201922245967.7 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211170857U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 徐根保;刘林;张宽翔;王昌华;王宝玉;蒋继文 | 申请（专利权）人： | 凯盛光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H01L31/18 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于GIGS太阳能蒸发镀膜的蒸发源装置，包括蒸发源本体以及设于蒸发源本体内的坩埚，其特征在于，所述蒸发源本体内壁间隔设有第一加热丝与第二加热丝，第一加热丝位于蒸发源本体的头部，第一加热丝与第二加热丝均沿蒸发源本体内壁环形分布，蒸发源本体内的底部还设有第三加热丝；坩埚内的头部设有束流块，束流块设有与坩埚同轴的束流孔，束流孔呈喇叭状，束流孔由头部朝尾部渐缩；该装置能够解决蒸发源易堵以及蒸发膜层不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 gigs 太阳能 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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