[实用新型]一种热电堆红外探测器有效
| 申请号： | 201922204396.2 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN210926061U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李吉光;李晓坤;徐一舟 | 申请（专利权）人： | 杭州福照光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;G01J5/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种热电堆红外探测器，其特征在于，所述探测器包括单晶硅、复合膜层、热电偶层、绝缘介质层、金属图形层、红外吸收层和高反射散热层；所述复合膜层生长在单晶硅层的上表面，所述热电偶层生长在复合膜层的上面，所述热电偶层由串联的热电偶组成，热电偶材料由重掺杂N型多晶硅与重掺杂P型多晶硅经过结对连接而形成，所述绝缘介质层生长在热电偶层上面，所述金属图形层，形成于所述绝缘介质层上，所述红外吸收层生长在热电堆的热端的上表面，所述高反射散热层生长在热电堆层的冷端的上表面，所述红外探测器的底部设有凹槽，形成隔热腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电 红外探测器 | ||
【主权项】：
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