[实用新型]一种高平面度大尺寸吸盘有效
| 申请号： | 201922158941.9 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN210803975U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;张雷 | 申请（专利权）人： | 源能智创（江苏）半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16B47/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215399 江苏省苏州市昆山市玉*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种高平面度大尺寸吸盘，其包括上吸盘和下吸盘，所述上吸盘和下吸盘之间形成真空腔，所述上吸盘包括基板吸附面板，所述基板吸附面板包括多个连通至真空腔结构的通气孔，所述下吸盘外表面设有支撑板。通过支撑板结构保证了吸盘整体的支撑面积足够大，并承担绝大部分受力形变，从而减小了外界因素对吸盘工作表面的平面度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 尺寸 吸盘 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于源能智创（江苏）半导体有限公司，未经源能智创（江苏）半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922158941.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种压力传感器计量测试夹具
- 下一篇：一种车辆的多屏显示系统
