[实用新型]一种便携式晶圆超声测厚装置有效
申请号: | 201922143013.5 | 申请日: | 2019-12-04 |
公开(公告)号: | CN210689554U | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 王海斌 | 申请(专利权)人: | 上海斌瑞检测技术服务有限公司 |
主分类号: | G01B17/02 | 分类号: | G01B17/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200040 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种便携式晶圆超声测厚装置,包括:测量传送带,所述测量传送带两端安装在支撑辊上,所述测量传送带一端的支撑辊通过支撑辊安装座安装在测量支架上、测量传送带另一端的支撑辊通过支撑辊安装座安装在调节支架上,所述调节支架通过固定螺栓安装在调节板上,所述测量传送带上侧从超声测量仪内穿过,所述超声测量仪下端通过测量仪安装座安装在测量仪安装支架上,所述测量仪安装支架焊接固定在测量支架上,所述测量传送带下侧设有若干导向辊,所述导向辊通过导向辊固定座安装在测量支架上,导向辊之间的测量传送带上设有驱动辊,本实用新型可以实现流水线自动测量,大大提高了产品的合格率,另外,可以灵活调节,使用非常方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 便携式 超声 装置 | ||
【主权项】:
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