[实用新型]一种精密微调法兰装置

摘要

本实用新型涉及一种精密微调法兰装置，包括微调法兰和法兰驱动器；所述法兰驱动器包括调节螺母、基座、导向套、微动顶轴、防转块；所述微动顶轴的中部套设有调节螺母；所述微动顶轴的头部为螺头，所述微动顶轴的尾部安装有防转块，所述调节螺母安装在所述基座内，所述导向套套设在所述微动顶轴的尾部；所述微调法兰包括上法兰、下法兰和十字燕尾模块，所述上法兰和所述法兰之间安装有十字燕尾模块，所述十字燕尾模块包括上法兰燕尾和下法兰燕尾，所述法兰燕尾的两端设置有所述法兰驱动器；具有高分辨率和大行程的位移输出，而且能够承受大的载荷结构简单、紧凑，调节方便，稳定性好。