[实用新型]板带的限位防摆动机构有效
申请号: | 201922130982.7 | 申请日: | 2019-12-03 |
公开(公告)号: | CN211570762U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 尹忠乐;朱念青 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/35 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 郑丰平 |
地址: | 528225 广东省佛山市南海区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型板带的限位防摆动机构,包括工件杆、下板带、板带固定杆、下板带限位轨道、限位轴承、限位件增高垫,下板带限位轨道呈圆弧形设置,下板带限位轨道上表面设有轨道凹槽,下板带设于轨道凹槽内,下板带呈圆弧形长条片状设置,限位轴承设于下板带两端,工件杆的底端设于下板带上,板带固定杆固定设于下板带上,限位件增高垫设于下板带限位轨道下方,限位件增高垫设有多组,多组限位件增高垫均匀分布在下板带限位轨道下方。本实用新型属于镀膜设备技术领域,具体是一种防止镀膜工件悬挂杆的下板带在围绕靶材公转时摆动,保证工件杆上的产品与靶材的距离保持不变,从而提高成膜均匀性的板带的限位防摆动机构。 | ||
搜索关键词: | 限位 摆动 机构 | ||
【主权项】:
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