[实用新型]板带的限位防摆动机构有效

专利信息
申请号: 201922130982.7 申请日: 2019-12-03
公开(公告)号: CN211570762U 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 尹忠乐;朱念青 申请(专利权)人: 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/35
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 郑丰平
地址: 528225 广东省佛山市南海区*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型板带的限位防摆动机构,包括工件杆、下板带、板带固定杆、下板带限位轨道、限位轴承、限位件增高垫,下板带限位轨道呈圆弧形设置,下板带限位轨道上表面设有轨道凹槽,下板带设于轨道凹槽内,下板带呈圆弧形长条片状设置,限位轴承设于下板带两端,工件杆的底端设于下板带上,板带固定杆固定设于下板带上,限位件增高垫设于下板带限位轨道下方,限位件增高垫设有多组,多组限位件增高垫均匀分布在下板带限位轨道下方。本实用新型属于镀膜设备技术领域,具体是一种防止镀膜工件悬挂杆的下板带在围绕靶材公转时摆动,保证工件杆上的产品与靶材的距离保持不变,从而提高成膜均匀性的板带的限位防摆动机构。
搜索关键词: 限位 摆动 机构
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司,未经佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201922130982.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top