[实用新型]一种大口径平面干涉仪载物台有效
申请号: | 201922126768.4 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN210833460U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 王娇 | 申请(专利权)人: | 长春百纳光电子产品有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 王欢 |
地址: | 130000 吉林省长*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种大口径平面干涉仪载物台,涉及平面干涉仪设备技术领域,包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件;俯仰台设置在支架底板上,固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚,第一固定支脚和第二固定支脚设在支架底板与俯仰台之间,第一固定支脚和第二固定支脚前后间隔地设置在俯仰台的底面上并位于俯仰台的左侧;可调节支脚设置在支架底板与支架底板与俯仰台之间,可调节支脚设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的右侧,第一固定支脚、第二固定支脚与可调节支脚的中心点连线构成等腰三角形;检测组件包括标准尺、匹配尺,匹配尺垂直于俯仰台。采用本实用新型,可以精密地调节载物台的俯仰角度。 | ||
搜索关键词: | 一种 口径 平面 干涉仪 载物台 | ||
【主权项】:
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