[实用新型]一种解析度测试装置有效
| 申请号： | 201922057863.3 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN211698178U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王非非 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/497 | 分类号： | G01S7/497 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 吴秀娥 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种解析度测试装置。该装置包括待测器件、测试图案和反射镜，所述反射镜以设定角度设置于所述待测器件和所述测试图案之间连线的一侧，所述设定角度使得所述待测器件能够通过所述反射镜获取完整的所述测试图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解析度 测试 装置 | ||
【主权项】：
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