[实用新型]高精度微调机构

摘要

本实用新型提供的一种高精度微调机构，包括第一夹板、滑块、第二夹板、底座和驱动单元；第一夹板、滑块和第二夹板依次滑动连接，且第一夹板与底座固定连接，滑块夹设于第一夹板和第二夹板之间，第二夹板与底座滑动连接；驱动单元用于驱动滑块沿第一方向滑动，同时推动第二夹板沿第二方向滑动，第一方向与第二方向垂直；滑块包括相对的第一面和第二面，第一面平行于第一方向且与第一夹板滑动连接，第二面与第一面形成锐角并与第二夹板滑动连接。通过设置楔形的滑块，以使得第二夹板的运动行程相比滑块的运动行程等比例缩小，则第二夹板接收的传动误差也等比例缩小，从而提高了第二夹板的位移精度，微调效果好。