[实用新型]一种物料检测装置和曝光设备有效
| 申请号： | 201922010343.7 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN210514936U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 祝玥华;唐文力;吴钱忠;周剑锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种物料检测装置和曝光设备，该物料检测装置的物料存储库中设置有多个物料放置槽；该物料放置槽的上表面设置有压力传感器；该压力传感器用于检测物料放置槽的上表面受到的压力，并将压力检测电信号输出至压力检测电路，以使压力检测电路能够根据各所述压力传感器的压力检测电信号输出检测结果，确定出各物料放置槽中是否放置有物料。本实用新型实施例的物料检测装置结构简单，且具有较高的检测准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物料 检测 装置 曝光 设备 | ||
【主权项】：
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