[实用新型]一种用于聚酰亚胺薄膜加工的高温退火装置有效

专利信息
申请号: 201921999991.3 申请日: 2019-11-19
公开(公告)号: CN211441254U 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 初明辉;尚吉永;王志刚;王会宾 申请(专利权)人: 万达集团股份有限公司;山东万达微电子材料有限公司
主分类号: B29C71/02 分类号: B29C71/02;B29L7/00
代理公司: 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 代理人: 张清东
地址: 257500 *** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种用于聚酰亚胺薄膜加工的高温退火装置,包括第一退火炉、第二退火炉、电晕机、放卷辊和收卷辊;电晕机设有第一退火炉和第二退火炉之间;放卷辊位于第一退火炉的外端;收卷辊位于第二退火炉的外端;收卷辊上连接有第一电机;第一退火炉和放卷辊之间设有第一导向辊;第一退火炉和电晕机之间设有第二导向辊;第二退火炉和收卷辊之间设有第四导向辊;第二退火炉和电晕机之间设有第三导向辊。与现有技术相比本实用新型的有益效果是:在确保聚酰亚胺薄膜特性的同时,使得经过处理过后的聚酰亚胺薄膜有更小的收缩率;同时要求设备整体运行稳定可靠。
搜索关键词: 一种 用于 聚酰亚胺 薄膜 加工 高温 退火 装置
【主权项】:
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