[实用新型]用于碳化硅半导体的研磨进料装置有效
| 申请号： | 201921998035.3 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN210022254U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 李勇刚;胥小丰;卢红亮 | 申请（专利权）人： | 四川矽芯微科技有限公司 |
| 主分类号： | B02C4/00 | 分类号： | B02C4/00;B02C4/28;B02C23/02 |
| 代理公司： | 51238 成都玖和知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 胡琳梅 |
| 地址： | 629200 四川省遂*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，传送带安装座上安装有贯穿安装架的传送带，传送带安装座上设有驱动传送带运动的传送带驱动电机，安装座上端安装有电源箱，安装架上安装有与电源箱电连接的主动辊驱动电机，主动辊驱动电机上安装有主动辊，安装架上安装有从动辊安装座，从动辊安装座转动安装有从动辊，从动辊与主动辊之间传动连接有研磨带，传送带安装座上且位于安装架内安装有研磨辊安装座，研磨辊安装座上且位于主动辊的两侧安装有一对相对于主动辊中心线对称的第一转轴，第一转轴外周均安装有研磨辊，研磨辊位于传送带的上方，且研磨辊与研磨带接触布置。本实用新型能够有效提高碳化硅半导体研磨进料的效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 安装座 主动辊 传送带 研磨辊 安装架 从动辊 碳化硅半导体 驱动电机 研磨 电源箱 研磨带 转轴 传送带驱动电机 本实用新型 传送带运动 中心线对称 传动连接 接触布置 进料装置 转动安装 电连接 上端 外周 驱动 贯穿 申请 | ||
【主权项】：
1.一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，包括安装座，安装座(1)上端安装有安装架(2)，安装架(2)上安装有传送带安装座(19)，传送带安装座(19)上安装有贯穿安装架(2)的传送带(3)，传送带安装座(19)上设有驱动传送带(3)运动的传送带驱动电机(4)，安装座(1)上端安装有电源箱(5)，安装架(2)上安装有与电源箱(5)电连接的主动辊驱动电机(18)，主动辊驱动电机(18)靠近安装架(2)的一侧安装有主动辊(17)，安装架(2)上安装有从动辊安装座(7)，从动辊安装座(7)转动安装有从动辊(8)，从动辊(8)与主动辊(17)之间传动连接有研磨带(9)，传送带安装座(19)上且位于安装架(2)内安装有研磨辊安装座(15)，研磨辊安装座(15)上且位于主动辊(17)的两侧安装有一对相对于主动辊(17)中心线对称的第一转轴(14)，第一转轴(14)外周均安装有研磨辊(16)，研磨辊(16)位于传送带(3)的上方，且研磨辊(16)与研磨带(9)接触布置，安装架(2)内顶部安装有导向板(13)，导向板(13)与传送带(3)上端面接触布置。/n
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