[实用新型]一种气凝胶隔热结构宽波段红外探测器

摘要

本专利公开了一种气凝胶隔热结构宽波段红外探测器。所述的红外探测器自衬底之上依次为隔热层、保护层、热敏电阻薄膜和金属电极；探测器采用硅片作为衬底，易于与现代硅基微电子加工工艺兼容，采用二氧化硅气凝胶薄膜作为隔热层，采用具有宽波段响应特性的锰钴镍氧热敏电阻薄膜作为红外吸收层，工艺简单易操作，且不会形成响应波段较窄的谐振腔结构，可实现宽波段探测，获得更完整的目标红外热辐射信息。此外，二氧化硅气凝胶隔热层具有整体的支撑结构，增加了器件的整体强度，不存在传统的微桥结构可能面临的桥面坍塌的风险，提高了成品率，降低了制备成本。本专利器件工艺成熟，适用于单元、线列及面阵红外探测器。