[实用新型]一种用于超低能定向离子减薄仪的样品辅助安装装置有效
| 申请号： | 201921855367.6 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN211118368U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;付琴琴;范传伟;郭朝维 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;G01N3/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 孟大帅 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于超低能定向离子减薄仪的样品辅助安装装置，包括：样品托支架、原位纳米力学样品托和原位纳米力热耦合样品托；所述样品托支架包括安装座，所述安装座设置有安装孔；所述安装座上固定设置有第一支架和第二支架；所述第一支架上设置有若干第一连接孔，用于安装原位纳米力学样品托；所述第二支架上设置有若干第二连接孔，用于安装原位纳米力热耦合样品托；所述原位纳米力学样品托安装在第一支架上；所述原位纳米力热耦合样品托安装在第二支架上。本实用新型的样品辅助安装装置，能够安装在超低能定向离子减薄仪的样品座上，可装载纳米力学的样品托，能够实现对纳米力学样品进行超低能定向离子去除非晶层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 低能 定向 离子 减薄仪 样品 辅助 安装 装置 | ||
【主权项】：
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