[实用新型]一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置有效
| 申请号： | 201921825350.6 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN210916235U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 彭建;田琳;夏虎 | 申请（专利权）人： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 102212 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置，涉及离子镀膜技术领域，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有安装孔，密封绝缘件固定在安装孔内并与安装孔形成密封连接，驱动装置的输出轴穿过密封绝缘件并与连接杆的一端固定连接，驱动装置能够驱动连接杆沿轴向作往复运动，波纹管的一端与密封绝缘件的一端固定连接、另一端固定套设于连接杆外并与连接杆形成密封连接，连接杆穿过波纹管与引弧钩固定连接；离子镀膜装置包括真空腔室和上述的离子镀膜用引弧装置。本实用新型中，驱动装置带动引弧钩运动，作用力大，不易粘钩，设置波纹管进行静态密封，真空腔室密封性好、真空不易被破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 镀膜 用引弧 装置 | ||
【主权项】：
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