[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201921820841.1 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN212357371U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王军;何茵 | 申请（专利权）人： | 浙江三海微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 马晨博 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空箱体、抽真空机构以及与工件架，所述工件架设置在所述真空箱体上端内部，所述工件架通过转动轴与设置在真空箱体上端的驱动电机相连接，所述工件架包括工件杆、工件圆盘以及工件中心杆，所述工件杆呈环形设置在所述工件圆盘，所述工件圆盘的圆心固定连接工件中心杆，所述工件杆为伸缩设置，所述工件杆远离中心圆盘对的一端设置工件安置架，所述工件安置架设置有中间杆以及分支架解决了传统工件架固定的，在不同的大小高度的物件，需要大小不同的工件架，这样容易造成工件架种类繁多，且造成工件架堆积，从而浪费资源的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 磁控溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
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