[实用新型]一种晶圆曝光机有效
| 申请号： | 201921744596.0 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN210721014U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 何海洋;胡健峰;彭强 | 申请（专利权）人： | 无锡市查奥微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，尤其为一种晶圆曝光机，包括支架和箱体，所述支架的底端安装在所述箱体上表面的左侧，所述支架另一端上安装有灯罩，所述灯罩的下端安装有曝光管，所述箱体上表面的右侧设置有转盘，所述箱体的首端设置有控制面板，所述箱体的右侧设置有料出口，所述灯罩的内部安装有灯板，且所述灯板下表面的中间位置固定有灯泡，所述曝光管的内部设置有滤波器和凸透镜，所述滤波器设置在所述凸透镜的上方，所述曝光管的底部安装有镜管，所述转盘上设置有孔洞，且所述孔洞有三个。本实用新型通过可拆卸曝光管的更换以达到焦点的变更，进而实现不同厚度晶圆的曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 | ||
【主权项】：
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