[实用新型]COF Film生产用狭缝式挤压光阻涂布结构有效
| 申请号： | 201921722612.6 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN210348188U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 薛红伟;陈杰 | 申请（专利权）人： | 合肥奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种COF Film生产用狭缝式挤压光阻涂布结构，属于COF Film生产领域，包括滚筒(4)，所述COF Film生产用狭缝式挤压光阻涂布结构还包括光阻挤出结构(2)，该光阻挤出结构(2)包括光阻挤出通道(3)，该光阻挤出通道(3)一端为光阻挤出口(6)，光阻挤出口(6)与滚筒(4)的边缘之间形成间隙(7)。本实用新型的COF Film生产用狭缝式挤压光阻涂布结构有效避免光阻厚度周期性波动的状况，从而减少对后续显影工序和刻蚀工序的影响，不但降低了线粗线细导致的报废率，还杜绝了断胶，以及提高了涂布精度，减少了光阻消耗。 | ||
| 搜索关键词： | cof film 生产 狭缝 压光 阻涂布 结构 | ||
【主权项】：
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