[实用新型]一种金刚石单线电火花复合加工装置

摘要

本实用新型涉及一种金刚石单线电火花复合加工装置，包括线辊驱动电机，所述线辊驱动电机的一端设置有线辊，通过脉冲电源、正极进电线、负极进电线与进电电刷，将传统电火花放电加工与金刚石线切割技术相结合实现电火花金刚石线复合加工半导体晶硅，针对金刚线切割加工半导体等晶硅的加工表面微裂纹、划痕等表面缺陷问题，在金刚线单线切割的基础上加入电火花放电加工实现加工表面的提升，为其在半导体行业的推广应用提供帮助，且电火花金刚石线复合加工半导体晶硅，电火花放电加工产生的加工表面的凹坑有利于降低后续制绒工序的工作强度，甚至进一步实现金刚石多线切割机晶硅切片的晶元制绒一体化。