[实用新型]一种曝光用治具有效
| 申请号： | 201921612422.9 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN210323769U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 马迪;吴景舟;陈亮;陈国军;王群;朱鹏飞;孙行;冯梦飞;潘钰;林全海 | 申请（专利权）人： | 钧迪智能装备科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光用治具，包括支撑架，所述支撑架上设有底板，所述底板上转动安装有衬套，所述衬套上固定安装有粗调旋转板，所述粗调旋转板与所述底板之间设有转动安装于所述衬套上的精调旋转板，所述精调旋转板与所述粗调旋转板之间设有粗调控制机构，所述粗调控制机构上顶靠有精调调节机构；所述粗调旋转板上固定安装有安装板，所述安装板上设有真空吸取机构。不仅保证了非垂直面的正常曝光，而且能偏转任意角度，为满足侧面曝光的需求提供了保障，结构简单、紧凑，且设计巧妙，使用可靠性高，使用范围广，具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 用治具 | ||
【主权项】：
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