[实用新型]一种冷却设备有效
| 申请号： | 201921595848.8 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN210847544U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 向成龙 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造的辅助设备技术领域，尤其涉及一种冷却设备，用于冷却机台排放的排放液，包括：一冷却容器，冷却容器内设有一冷却装置，冷却容器通过一输入管道连接机台，用于对输入管道输送的排放液进行冷却；一排放管道，连接冷却容器的排放口，当排放液的温度低于一第一预设值时，将排放液排放；一组冲洗喷头，设置于冷却容器的顶部，用于在排放液排放空后，冲洗冷却容器的底部。本实用新型技术方案的有益效果在于：通过在冷却容器内设置冲洗喷头，定期对冷却容器内的沉积物进行清理，以防止沉积物堵塞影响排放液的排放，从而确保机台的正常运转，以及提升冷却容器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 设备 | ||
【主权项】：
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