[实用新型]一种近空间升华设备

摘要

本实用新型公开了一种近空间升华设备，包括工作台，工作台的上表面装配有支撑板，支撑板的下表面滑动装配有移动支撑架，支撑板的上表面装配有箱体，箱体内装配石英管，石英管的内腔装配有基片和源槽，支撑板的上表面滑动装配有移动板，移动板的上表面和箱体的内腔均装配有加热装置，石英管的左右表面均装配有冷却装置，冷却装置装配在石英管的左右两端，本实用新型采用石英管真空腔体，腔体为圆筒型也可以是矩形，腔体内安装石墨加热的基片和源槽，加热器为加热灯组，加热灯组安装在真空室外，透过石英管加热，基片上安装有各种热偶，一套基片与源槽是一个工位，可以左右移动下端加热灯组的位置，来变换为单工位，双工位，三工位近空间升华设备。