[实用新型]一种用于特殊气体输送的集装格供应系统有效

专利信息
申请号: 201921507313.0 申请日: 2019-09-11
公开(公告)号: CN210979351U 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 甘万;杨欣;江福荣 申请(专利权)人: 上海盛韬半导体科技有限公司
主分类号: F17D1/02 分类号: F17D1/02;F17D3/01;F17D5/00;F17D5/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201315 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于特殊气体输送的集装格供应系统,包括:箱体、控制显示操作单元、工艺气体供应单元、吹扫单元、Pigtail单元、报警单元、条码扫描枪和本地紧急停止按钮。其中,工艺气体供应单元包括:紧急关断阀、高压气动隔离阀、低压气动隔离阀、气动吹扫隔离阀、高压气体排放阀、低压气体排放阀、压力传感器、调压阀、过滤系统、隔离阀、工艺气体出口阀、真空隔离阀、真空发生器和工作管路。本实用新型与传统技术相比,实现箱体吹扫流程的全自动化;新增排风检测、过流量保护开关、真空发生器、气体泄漏传感器、消防喷淋等设施来保证设备正常运转及异常情况下能即时发出报警信息,切断气源,提高系统安全性。
搜索关键词: 一种 用于 特殊 气体 输送 集装 供应 系统
【主权项】:
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